英诺赛克或无锡湖畔光电招标人:中国电子工程设计****公司**:项目概况:基于第三代半导体工厂洁净控制关键技术研究与应用研究需求,拟采购适用于洁净室AMC的在线监测系统,及其集成安装与施工。该系统至少能够满足对电子厂房环境中典型空气化学污染物TS(总硫)、SO2、HCl、Cl2、NH3、TVOCs(总挥发有机物)********
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